Aluminum nitride thin film for stress biosensing application

Chung Ming Liu, Chin Sung Chen, Che Tong Lin, Sheng Yang Lee, Keng Liang Ou

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議貢獻

指紋

深入研究「Aluminum nitride thin film for stress biosensing application」主題。共同形成了獨特的指紋。

Engineering & Materials Science